量程

X方向  

50mm

Z方向

1000μm（選配2000μm）

分辨率

X方向  

0.0016μm/±50μm -0.016μm/±1000μm

驅(qū)動(dòng)器

直線度

0.8μm/50mm

測(cè)量誤差

無(wú)導(dǎo)頭測(cè)量

＜±10%

分析算法

對(duì)應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)

JIS-82、JIS-87、JIS-94、JIS-01、JIS-13、ISO-84、ISO-97、DIN-90、ASME-95、GB-14

參數(shù)

R粗糙度輪廓

Ra75、Rq、Rp、Rv、Rc、Rt、S、R3z、PPI、Ra、Rsk、Rku、Ry、Sm、RΔa、RΔq、Rz、Pc、Rλa、Rλq、lr、RSm、Rz94、RPc、RS、Rz.I、Rpm、HSC

W波紋度輪廓

WCA、WCC-q、WCC-p、WCC-v、WCC-m、WCC-Sm、WCA、WC-q、WC-p、WC-v、WCM、WC-Sm、WC-t、Wa、Wq、Wsk、Wku、Wp、Wv、Wz、Wc、Wt、WSm、WΔq、WPc

P原始輪廓

Rsk、Rku、Rmax、Sm、Δa、Δq、Rz、λa、λq、lr、TILT A、AVH、Hmax、Hmin、AREA、Rz.J、Pa、Pq、Psk、Pku、Pp、Pv、Pc.I、Pt、PSm、PΔq、PPc、Pc

支承率曲線

Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、V0、K、A1、A2

圖形

NCRX、AR、R、Rx、NR、CPM、SR、SAR、AW、W、Wx、Wte、NW、SW、SAW、Rke、Rpke、Rvke、Mr1、Mr2、V0、K

評(píng)定曲線

粗糙度輪廓、波紋度輪廓、原始輪廓、支承率曲線、圖形

特征曲線

支承率曲線(Rmr(c)、Rmr2(c)、Rδc(c)、tp(c)、tp2(c)、Htp(c))、幅頻分析曲線、振幅分布曲線

形狀去除

全域、前半、后半、中心、2點(diǎn)、曲線

濾波器類型

 Gaussian、FFT、PC、DP、2RC

濾止波長(zhǎng)

λs

0、2.5、8、25μm               

λc

0.08、0.25、0.8、2.5、8mm

λf

0.8、2.5、8、25mm

評(píng)定長(zhǎng)度

取樣長(zhǎng)度 × 取樣個(gè)數(shù)（取樣長(zhǎng)度有標(biāo)準(zhǔn)模式與自定義模式）

測(cè)量速度

0.05mm/s、0.10mm/s、0.50mm/s、1.00mm/s、2.00mm/s

回程速度

0.05mm/s、0.10mm/s、0.50mm/s、1.00mm/s、2.00mm/s

傳感器

型號(hào)

標(biāo)準(zhǔn)通用型

傳感器方式

差動(dòng)電感

量程

±500μm（選配±1000μm）

測(cè)針

5μmR金剛石90°

測(cè)力

4-7.5mN可調(diào)

操作機(jī)

顯示部分

10寸彩色I(xiàn)PS觸摸屏

數(shù)據(jù)輸出

TF卡/U盤(pán)/WIFI打印

對(duì)應(yīng)語(yǔ)言

中文

尺寸及質(zhì)量

電源/消耗

AC220V±10%      內(nèi)置充電電池（AC變壓器充電）

 充電時(shí)間8小時(shí)

耗電量

約30VA(充滿電后可以測(cè)量500次）

質(zhì)量

干重3Kg      含包裝7Kg

設(shè)置尺寸

執(zhí)行器器80（W）*340（D）*175（H）                          操作器  245（W）*162（D）*68（H）

主驅(qū)動(dòng)器

1

臺(tái)

傳感器

1

支

10寸Pad工作站

1

個(gè)

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針

1

根

粗糙度標(biāo)準(zhǔn)塊

1

塊

通訊連接線

1

根

驅(qū)動(dòng)器/Pad從電器

1/1

個(gè)

合格證

1

份

說(shuō)明書(shū)

1

本

保修卡

1

份

儀器箱

1

個(gè)

隨機(jī)工具

1

套

大理石升降工作臺(tái)

個(gè)

深槽測(cè)針

根

精密平口鉗

個(gè)

小孔測(cè)針

根

微調(diào)平臺(tái)

個(gè)

特殊定制測(cè)針

根

角度調(diào)整臺(tái)

個(gè)